发明名称 Stacked capacitor memory structure which reduces short circuits due to dislodged hemispherical grains
摘要
申请公布号 GB2359926(A) 申请公布日期 2001.09.05
申请号 GB20000024095 申请日期 2000.10.02
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 TOMOHIKO * HIGASHINO
分类号 H01L21/8242;H01L21/02;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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