薄膜形成装置,薄膜形成方法和自发光装置

摘要

本发明提供了一种当将用来形成EL层的涂敷液涂敷时,用于选择性地将涂敷液涂敷在所需涂敷位置的装置。当涂敷涂敷液时,在涂敷液室和基质间提供一掩模,并且将一电压施加到所述掩模上,这样涂敷液能选择性电涂敷在所需涂敷位置上。

主权项

1．一种薄膜形成方法，其使用包括含涂敷液的涂敷液室，装有电极的基质，涂敷液室和基质间的掩模的装置，所述方法包括步骤：在涂敷液室中形成雾化涂敷液；从涂敷液室中向基质排出雾化了的涂敷液；使涂敷液经过相对于电极的掩模的开口部分；使涂敷液到达基质的电极上；和在电极上形成薄膜。