首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 MINIMIZATION OF PARTICLE GENERATION IN CVD REACTORS AND METHODS
摘要
申请公布号 EP0562035(B2) 申请公布日期 2001.09.05
申请号 EP19920903855 申请日期 1991.12.11
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 TAPPAN, JAMES, E.;YASUDA, ARTHUR, K.;DENISON, DEAN, R.;MUNDT, RANDALL, S.
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/513;H01J37/32;(IPC1-7):B05D3/06;C03C15/00;B44C1/22;C23C16/00;C23C16/50 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com