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发明名称 INTERNALLY HEATED EXHAUST UNIT
摘要
申请公布号 EP1129235(A1) 申请公布日期 2001.09.05
申请号 EP19990951831 申请日期 1999.10.07
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 COMITA, PAUL, B.;RANGANATHAN, REKHA;CARLSON, DAVID, K.;DUBOIS, DALE, R.;FORSTNER, HALI, J., L.
分类号 B01J19/00;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
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