| 发明名称 |
Device and method for comminution of semiconductive material |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0887105(B1) |
申请公布日期 |
2001.09.05 |
| 申请号 |
EP19980110151 |
申请日期 |
1998.06.04 |
| 申请人 |
WACKER-CHEMIE GMBH |
发明人 |
KOEPPL, FRANZ, DR.;FUCHS, PAUL |
| 分类号 |
B02C19/18;B28D5/00;C30B33/04;H01L21/304;(IPC1-7):B02C19/18;B02C19/12;B23H9/00 |
主分类号 |
B02C19/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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