发明名称 | 一种射频微电子机械单刀双掷开关及其制造方法 | ||
摘要 | 一种射频微电子机械单刀双掷开关及其制造方法,属于微电子机械系统领域。每个单刀双掷开关有由三条共平面波导,一条作为信号输入端,另二条和信号输入端相连形成一种一分为二的分支结构。每个分支线上各有一个电容和一个外加电压端。分支线上两条平面波导各构成一个微机械开关(MEMS),通过分支线上外加电压端交替施加电压实现单刀双掷开关的功能,从而实现隔离度高、插入损耗小而又体积小、成本低的目的。 | ||
申请公布号 | CN1311158A | 申请公布日期 | 2001.09.05 |
申请号 | CN01105783.1 | 申请日期 | 2001.03.23 |
申请人 | 中国科学院上海冶金研究所 | 发明人 | 孙晓玮;李小卫;程知群;王嘉宽;郝幼申;姚文澜 |
分类号 | B81B7/02 | 主分类号 | B81B7/02 |
代理机构 | 上海华东专利事务所 | 代理人 | 潘振甦 |
主权项 | 1、一种射频微电子机械单刀双掷开关,其特征在于:(1)单刀双掷开关中共有三条共平面波导,一条作为信号输入端,另二条和信号输入端相连形成一分为二的分支结构;(2)每个分支线上各有一个电容和一个外加电压端,两分支线的平面波导各构成一个微机械开关;(3)二个分支线外加电压端交替施加电压,实现单刀双掷开关功能。 | ||
地址 | 200050上海市长宁区长宁路865号 |