发明名称 一种射频微电子机械单刀双掷开关及其制造方法
摘要 一种射频微电子机械单刀双掷开关及其制造方法,属于微电子机械系统领域。每个单刀双掷开关有由三条共平面波导,一条作为信号输入端,另二条和信号输入端相连形成一种一分为二的分支结构。每个分支线上各有一个电容和一个外加电压端。分支线上两条平面波导各构成一个微机械开关(MEMS),通过分支线上外加电压端交替施加电压实现单刀双掷开关的功能,从而实现隔离度高、插入损耗小而又体积小、成本低的目的。
申请公布号 CN1311158A 申请公布日期 2001.09.05
申请号 CN01105783.1 申请日期 2001.03.23
申请人 中国科学院上海冶金研究所 发明人 孙晓玮;李小卫;程知群;王嘉宽;郝幼申;姚文澜
分类号 B81B7/02 主分类号 B81B7/02
代理机构 上海华东专利事务所 代理人 潘振甦
主权项 1、一种射频微电子机械单刀双掷开关,其特征在于:(1)单刀双掷开关中共有三条共平面波导,一条作为信号输入端,另二条和信号输入端相连形成一分为二的分支结构;(2)每个分支线上各有一个电容和一个外加电压端,两分支线的平面波导各构成一个微机械开关;(3)二个分支线外加电压端交替施加电压,实现单刀双掷开关功能。
地址 200050上海市长宁区长宁路865号