| 发明名称 |
Method of passivating copper interconnects in a semiconductor device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1063695(A3) |
申请公布日期 |
2001.09.05 |
| 申请号 |
EP20000304984 |
申请日期 |
2000.06.13 |
| 申请人 |
LUCENT TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
MERCHANT, SAILESH M.;MISRA, SUDHANSHU;ROY, PRADIP K. |
| 分类号 |
C23C16/40;H01L21/28;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/321;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768;C23C22/52 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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