发明名称
摘要
申请公布号 JP3205985(B2) 申请公布日期 2001.09.04
申请号 JP19980264130 申请日期 1998.09.18
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/223;H01L21/265;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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