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发明名称
摘要
申请公布号	JP3205421(B2)	申请公布日期	2001.09.04
申请号	JP19930084451	申请日期	1993.04.12
申请人		发明人
分类号	H01L21/203;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/778	主分类号	H01L21/203
代理机构		代理人
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