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发明名称
摘要
申请公布号
JP3204784(B2)
申请公布日期
2001.09.04
申请号
JP19930063547
申请日期
1993.03.23
申请人
发明人
分类号
G01B21/30;G01Q60/24;G01Q60/38;G01Q70/00;G01Q90/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30;G01N13/10;G12B21/02
主分类号
G01B21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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