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发明名称 ELECTROSTATIC DECHUCKING METHOD AND APPARATUS FOR DIELECTRIC WORKPIECES IN VACUUM PROCESSORS
摘要
申请公布号 KR20010083878(A) 申请公布日期 2001.09.03
申请号 KR1020017004017 申请日期 2001.03.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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