发明名称 |
SUBSTRAT REVETU D'UNE COUCHE POLYCRISTALLINE DE DIAMANT |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2746415(B1) |
申请公布日期 |
2001.08.31 |
申请号 |
FR19970003484 |
申请日期 |
1997.03.21 |
申请人 |
ELECTROVAC FABRIKATION ELEKTROTECHNISCHER SPEZIALARTIKEL GESELLSCHAFT M B H |
发明人 |
HOLZER HERMANN;HAUBNER ROLAND;LUX BENNO;NECHANSKY HELMUT |
分类号 |
C23C16/02;C23C16/26;(IPC1-7):C30B29/04;C30B28/12;C30B25/00;C30B23/00;C23C14/06 |
主分类号 |
C23C16/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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