发明名称 SUBSTRAT REVETU D'UNE COUCHE POLYCRISTALLINE DE DIAMANT
摘要
申请公布号 FR2746415(B1) 申请公布日期 2001.08.31
申请号 FR19970003484 申请日期 1997.03.21
申请人 ELECTROVAC FABRIKATION ELEKTROTECHNISCHER SPEZIALARTIKEL GESELLSCHAFT M B H 发明人 HOLZER HERMANN;HAUBNER ROLAND;LUX BENNO;NECHANSKY HELMUT
分类号 C23C16/02;C23C16/26;(IPC1-7):C30B29/04;C30B28/12;C30B25/00;C30B23/00;C23C14/06 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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