发明名称 |
DEVICE FOR DETECTING WAVE FRONTS |
摘要 |
Bei einer Vorrichtung (1) zur Wellenfronterfassung mit einer Wellenfrontquelle (7) zur Erzeugung einer Wellenfront (9), einem die Wellenfront (9) umformenden optischen System (5), einem von der ungeformten Wellenfront (10) durchsetzten Beugungsgitter (11) und einem dem Beugungsgitter (11) nachgeordneten ortsauflösenden Detektor (19) weist die Wellenfrontquelle (7) eine zweidimensionale Struktur auf.
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申请公布号 |
WO0163233(A2) |
申请公布日期 |
2001.08.30 |
申请号 |
WO2001EP00704 |
申请日期 |
2001.01.23 |
申请人 |
CARL ZEISS;CARL-ZEISS-STIFTUNG TRADING AS CARL ZEISS |
发明人 |
WEGMANN, ULRICH |
分类号 |
G01M11/02;G01J9/02;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G01J9/00 |
主分类号 |
G01M11/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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