发明名称 KOMPOSISI PENGUPASAN DAN PEMBERSIHAN
摘要
申请公布号 ID29396(A) 申请公布日期 2001.08.30
申请号 ID20010001097 申请日期 2000.08.08
申请人 ASHLAND INC. 发明人 DARRYL W PETERS;FLOYD L RIDDLE
分类号 C11D3/20;C11D7/26;C11D7/32;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/3213;(IPC1-7):C11D7/22 主分类号 C11D3/20
代理机构 代理人
主权项
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