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发明名称 Elektrostatisch durchstimmbare mikromechanische Kapazität mit großer Kapazitätsvariation
摘要
申请公布号 DE19983421(D2) 申请公布日期 2001.08.30
申请号 DE19991083421 申请日期 1999.06.10
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 HILLERICH, BERND;SCHIELE, IGNAZ
分类号 B81B3/00;H01G5/16;(IPC1-7):H01G5/16 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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