DIFFERENTIAL-INTERFEROMETER-SYSTEM UND LITHOGRAPHISCHER STEP AND SCAN APPARAT AUSGESTATTET MIT DIESEM SYSTEM,申请号DE19976005779-传众专利搜索

发明名称	DIFFERENTIAL-INTERFEROMETER-SYSTEM UND LITHOGRAPHISCHER STEP AND SCAN APPARAT AUSGESTATTET MIT DIESEM SYSTEM
摘要
申请公布号	DE69705779(D1)	申请公布日期	2001.08.30
申请号	DE19976005779	申请日期	1997.03.04
申请人	ASM LITHOGRAPHY B.V., VELDHOVEN	发明人	VAN DER WERF, EVERT;DIRKSEN, PETER
分类号	G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20;G01B9/02	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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