METHOD FOR THE DETERMINATION OF DATA FOR A MASK AND USE THEREOF OF SAID DATA IN PRODUCTION OF A MASK AND PRODUCTION OF AN INTEGRATED CIRCUIT

摘要

Daten eines Layouts werden in hierarchischer Form durch Zellen und Zellinstanziierungen beschrieben und liegen in einem ersten Gitter vor. Die Daten für die Maske werden in einem zweiten Gitter generiert. Dazu wird für die Zellinstanziierungen jeweils der Kontext in dem zweiten Gitter bestimmt. Für die Zellinstanziierungen mit unterschiedlichem Kontext wird durch Runden und Skalieren eine Zellvariante bestimmt, die die Daten für die Maske in dem zweiten Gitter enthält, wobei das Runden und Skalieren kontextabhängig durchgeführt wird.