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<p>In einem Verfahren zur Herstellung von Keramikschichten, insbesondere Karbidschichten, auf einem Substrat, insbesondere Silizium, wobei Keramikteilchen unter Vermittlung eines Übertragungsmediums, insbesondere einer Schmelze, dem Substrat zugeführt werden, wird zur Anreicherung des Übertragungsmediums mit Keramikteilchen zumindest ein Keramikteil, das zumindest bereichsweise ausserhalb des Übertragungsmediums gehalten ist, dort auf hohe Temperatur aufgeheizt, dabei wird zwischen dem Keramikteil und dem Übertragungsmedium während des Verfahrens eine Relativbewegung ausgeführt.</p> |
