| 摘要 |
<p>Beschrieben wird eine Vorrichtung zum Vakuumpressen von scheibenförmigen Substraten, insbesondere von DVD-Substraten. Die Vorrichtung umfasst eine Vakuumkammer, in der ein erster Substrathalter (9) für die A-Scheibe (A-Substrathalter) und ein zweiter Substrathalter (10) für die B-Scheibe (B-Substrathalter) untergebracht sind. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass ein in der Vakuumkammer verschiebbares und an seinem Umfang mit Dichtmitteln ausgestattetes Zwischenelement (9) vorgesehen ist, das die Vakuumkammer in eine erste, an eine Vakuumpumpe angeschlossene Kammer (20) (Unterdruckkammer) und in eine zweite, wahl- und wechselweise an eine Druckluftquelle (21) und/oder an eine Vakuumpumpe (24) anschliessbare Kammer (19) aufteilt. Das Zwischenelement ist auf der Seite der Unterdruckkammer als erster Substrathalter (A-Substrathalter) ausgebildet, während der zweite Substrathalter (B-Substrathalter) dem A-Substrathalter gegenüberliegend in der Vakuumkammer vorgesehen ist.</p> |
