发明名称 Vorrichtung zum Entnehmen und/oder Vereinzeln von Halbleiterchips aus einem Halbleiterwafer
摘要
申请公布号 DE20107220(U1) 申请公布日期 2001.08.30
申请号 DE20012007220U 申请日期 2001.04.25
申请人 GERINGER, MICHAEL 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/78;B25J7/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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