| 发明名称 |
METHOD FOR PLANARIZATION OF SUBMICRON VIAS AND THE MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUITS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0694086(B1) |
申请公布日期 |
2001.08.29 |
| 申请号 |
EP19940912876 |
申请日期 |
1994.03.25 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
HENDEL, RUDI;LEVINSTEIN, HYMAN |
| 分类号 |
C23C14/04;H01L21/321;H01L21/768;H01L29/41;H01L21/28;(IPC1-7):C23C14/00;H01L21/76;C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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