集成式大流量磷化氢减压释放装置

摘要

本实用新型涉及一种磷化氢气体减压释放装置,包括一加热器;一进口管接头;一出口管接头;以及一减压器;其特征在于所述加热器包括集成块体;流道,设置于所述集成块体内,一端通过所述进口管接头与高压气瓶密封连接,另一端通过所述出口管接头与所述减压器密封连接;加热热源,均布插装于所述集成块体中;以及温度控制机构,设置于所述集成块体上。本实用新型释放流量大于25升/分钟,可自动将PH₃温度控制在安全范围内,便于集成安装。

主权项

1．一种磷化氢减压释放装置，包括一加热器，其一端连接高压气瓶；一进口管接头，固定设置于所述加热器的一端；一出口管接头，固定设置于所述加热器的另一端；以及一减压器，其一端连接所述加热器，另一端与流量计连接；其特征在于所述加热器包括集成块体；流道，设置于所述集成块体内，一端通过所述进口管接头与高压气瓶密封连接，另一端通过所述出口管接头与所述减压器密封连接；加热热源，均布插装于所述集成块体中；以及温度控制机构，设置于所述集成块体上。