用离子交换设备减少微量金属离子的方法

摘要

本发明提供利用特殊设计的离子交换设备来生产有很低金属离子含量的溶液的方法。还提供一种在使用这种离子交换设备的方法中由酚醛清漆树脂经净化来生产有很低金属离子含量的光致抗蚀剂组合物的方法。

主权项

1．一种有很低金属离子含量的水不溶的含水碱液可溶的酚醛清漆树脂的制备方法，该方法包括：a)提供一种离子交换设备，所述的离子交换设备包括：1)一个外壳，2)一个或多个在所述外壳内的圆柱形软容器，3)靠近外壳顶部的、能有效密封离子交换设备的密封件，4)能使溶液通过密封件送入外壳内的圆柱形软容器的入口，5)从外壳的底部延伸到靠近外壳顶部的密封件的支承件，以及6)能使溶液通过密封件从离子交换设备排出的出口；b)1)例如在柱中或以间歇法用去离子水冲洗阳离子交换树脂，随后用无机酸溶液冲洗，再用去离子水冲洗，从而使离子交换树脂中的钠和铁离子含量降到各小于50ppb；或 2)用去离子水冲洗螯合性的离子交换树脂，随后用无机酸溶液冲洗，再用去离子水冲洗，随后用氢氧化铵溶液冲洗，从而使螯合的离子交换树脂转变成它的铵盐，随后再用去离子水冲洗，从而使螯合性的离子交换树脂中的钠和铁离子含量降到各小于50ppb；或 3)用氢氧化铵溶液冲洗阴离子交换树脂，随后用去离子水冲洗，从而使阴离子交换树脂中的钠和铁离子含量降到各小于50ppb；或 4)用去离子水冲洗阳离子交换树脂和阴离子交换树脂的混合物，随后用水溶性有机极性溶剂冲洗，从而使钠和铁离子含量降到各小于50ppb；c)将步骤b)的离子交换树脂或其混合物转移到步骤a)的离子交换设备中；d)在将步骤b)的离子交换树脂转移到步骤a)的离子交换设备中以前或以后，用电子级纯的有机极性溶剂冲洗步骤b)的离子交换树脂，随后用光致抗蚀剂溶剂冲洗，以便基本上除去极性溶剂；e)在约30至约150℃下，在这样的流速以致在离子交换设备中的停留时间为约2分钟至约40小时下，将溶液通过步骤d)的离子交换设备，从而使待处理的溶液中的钠和铁离子含量降到各小于50ppb。