发明名称 SOI MOSFET body contact and method of fabrication
摘要 A body contact to a SOI device is created by providing a deeper buried oxide region for providing connection to the FET body.
申请公布号 US6281593(B1) 申请公布日期 2001.08.28
申请号 US19990455554 申请日期 1999.12.06
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BROWN JEFFREY SCOTT;BRYANT ANDRES;GAUTHIER, JR. ROBERT J.;VOLDMAN STEVEN HOWARD
分类号 H01L21/265;H01L21/266;H01L21/762;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/088 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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