摘要 |
A találmány pásztázószondás mikroszkópokban használatosvolfrám tűszonda előállítására alkalmas készülékre vonatkozik,amelynek elektromosan vezető anyagból készült lemeze (1), és alemezben (1) furatokként kialakított, egymással folyadékátáramlástlehetővé tevően összekapcsolt elektrolitszolgáltató tere (2),maratóhelye (4) és elektrolitelvezető tere (3) van. A találmányszerinti készülékben a lemez (1) vastagsága (h) legalább 1,3 mm, és amaratóhely (4) átmérője (Dk) a maratandó volfrámszál (7) átmérőjének(DW) 6-10-szerese. A találmány tárgya továbbá eljárás volfrám tűszondakialakítására volfrámszálnak áramló elektrolit oldatban, a fentikészülékben végzett elektrokémiai maratásával. A találmány szerint azelektrokémiai maratást egyenfeszültség alkalmazásával végzik, és azelektrolitot 0,3-0,8 ml/perc sebességgel áramoltatják. A találmánytárgyát képezi a fentiek szerint előállított volfrám tűszonda is. Ó |