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发明名称
摘要
申请公布号
JP3202466(B2)
申请公布日期
2001.08.27
申请号
JP19930350399
申请日期
1993.12.28
申请人
发明人
分类号
C04B41/91;C23F1/30;C23F1/44;C23F4/00;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
C04B41/91
代理机构
代理人
主权项
地址
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