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发明名称
摘要
申请公布号 JP3202669(B2) 申请公布日期 2001.08.27
申请号 JP19970296945 申请日期 1997.10.29
申请人 发明人
分类号 G01R27/02;G01R1/06;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R27/02 主分类号 G01R27/02
代理机构 代理人
主权项
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