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发明名称
摘要
申请公布号 JP3202707(B2) 申请公布日期 2001.08.27
申请号 JP19980350332 申请日期 1998.12.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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