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发明名称 BELEUCHTUNGSEINHEIT FÜR EINE OPTISCHE VORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE69612489(T2) 申请公布日期 2001.08.23
申请号 DE19966012489T 申请日期 1996.07.16
申请人 ASM LITHOGRAPHY B.V., VELDHOVEN 发明人 VAN DER LAAN, HANS;MULKENS, JOHANNES CATHARINA HUBERTUS;STOELDRAYER, MARIE
分类号 G03F7/22;G02B27/09;G02B27/14;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/22
代理机构 代理人
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