发明名称 Layoutentwurfsverfahren
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft ein Layoutentwurfsverfahren für die Routine bzw. die Weggebung eines Weges, der Multiniveau-Verbindungen in einer Halbleitervorrichtung aufweist, die mindestens einen Feldeffekttransistor mit einer Gateelektrode hat, wobei sich der Weg zwischen einem Diffusionsbereich und der Gateelektrode erstreckt und wobei jede Verbindung, die mit der Gateelektrode verbunden ist und nicht mit dem Diffusionsbereich verbunden ist, wenn die Verbindung strukturiert wird, ein Gebiet hat, das einen vorgegebenen Referenzwert nicht überschreitet.
申请公布号 DE10103312(A1) 申请公布日期 2001.08.23
申请号 DE2001103312 申请日期 2001.01.25
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 NAGAYOSHI, FUTOSHI;SATO, SHOICHIRO
分类号 H01L21/70;G06F17/50;H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/485;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/823 主分类号 H01L21/70
代理机构 代理人
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