发明名称 ELECTRONIC COMPONENT COMPRISING AN ELECTRICALLY CONDUCTIVE CONNECTION CONSISTING OF CARBON NANOTUBES AND A METHOD FOR PRODUCING THE SAME
摘要 <p>Ein elektronisches Bauelement weist eine erste leitende Schicht, eine nicht-leitende Schicht sowie eine zweite leitende Schicht auf. Durch die nicht-leitende Schicht ist ein Loch geätzt. In dem Loch ist eine Nanoröhre vorgesehen, durch die die erste leitende Schicht mit der zweiten leitenden Schicht leitend verbunden ist.</p>
申请公布号 WO0161753(A1) 申请公布日期 2001.08.23
申请号 WO2001DE00419 申请日期 2001.02.02
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;ENGELHARDT, MANFRED;HOENLEIN, WOLFGANG;KREUPL, FRANZ 发明人 ENGELHARDT, MANFRED;HOENLEIN, WOLFGANG;KREUPL, FRANZ
分类号 H01J9/02;H01J1/304;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532;H05K3/40;(IPC1-7):H01L23/498;D01F9/12 主分类号 H01J9/02
代理机构 代理人
主权项
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