发明名称 |
ELECTRONIC COMPONENT COMPRISING AN ELECTRICALLY CONDUCTIVE CONNECTION CONSISTING OF CARBON NANOTUBES AND A METHOD FOR PRODUCING THE SAME |
摘要 |
<p>Ein elektronisches Bauelement weist eine erste leitende Schicht, eine nicht-leitende Schicht sowie eine zweite leitende Schicht auf. Durch die nicht-leitende Schicht ist ein Loch geätzt. In dem Loch ist eine Nanoröhre vorgesehen, durch die die erste leitende Schicht mit der zweiten leitenden Schicht leitend verbunden ist.</p> |
申请公布号 |
WO0161753(A1) |
申请公布日期 |
2001.08.23 |
申请号 |
WO2001DE00419 |
申请日期 |
2001.02.02 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG;ENGELHARDT, MANFRED;HOENLEIN, WOLFGANG;KREUPL, FRANZ |
发明人 |
ENGELHARDT, MANFRED;HOENLEIN, WOLFGANG;KREUPL, FRANZ |
分类号 |
H01J9/02;H01J1/304;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532;H05K3/40;(IPC1-7):H01L23/498;D01F9/12 |
主分类号 |
H01J9/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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