| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur elektrostatischen Substratübertragung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59607298(D1) |
申请公布日期 |
2001.08.23 |
| 申请号 |
DE19965007298 |
申请日期 |
1996.08.12 |
| 申请人 |
SPENGLER ELECTRONIC AG, BIEL-BENKEN |
发明人 |
SPENGLER, WALTER |
| 分类号 |
B41F5/02;B41F5/24;B41F7/02;B41F9/00;B41M1/42;(IPC1-7):B41M1/42 |
主分类号 |
B41F5/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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