环型镀膜室

摘要

一种环型镀膜室,包括真空室和平移架,在平行结构的真空室前端侧面之间设置平移架,在平行结构的真空室后端口分别设置具90度旋转装置的真空室,90度旋转装置是由放置基片架的导轨、导轨传动机构、圆弧形导轨和旋转机构组成,旋转机构的旋转底座位于圆弧形导轨的中心支撑放置基片架的导轨。本实用新型结构构合理、使用方便、实现高效率双面生产。

主权项

一种环型镀膜室，包括真空室和平移架，其特征在于：在平行结构的真空室前端侧面之间设置平移架，在平行结构的真空室后端口分别设置具90度旋转装置的真空室，90度旋转装置是由放置基片架的导轨、导轨传动机构、园弧形导轨和旋转机构组成，放置基片架的导轨跨置在两个对称分布的园弧形导轨上，导轨传动机构包括电机、电磁离合器、基架传动轴和伞齿轮，电机经电磁离合器、传动轴、伞齿轮驱动放置基片架的导轨传动轴，旋转机构包括旋转气缸、气缸轴、主动轮、被动轮和旋转底座，旋转气缸的气缸轴接主动轮、经被动轮传动旋转底座，旋转底座位于园弧形导轨的中心支撑放置基片架的导轨。