溶解有气体的清洗水用配水管路

摘要

在电子材料的湿法清洗工艺中,提供了一种溶解有气体的清洗水用的水配送管路,使其能够向所有的使用点供应具有基本恒定的气体浓度,即使是从主管经过长距离向具有多个使用点的支管进行配送溶解有自行分解气体的清洗水时。一种溶解有气体的清洗水用的水配送管路,该管路通过在气体存在下,将气体溶解于纯水中来进行清洗水的配送,其是在从主管伸出支管的每个点的上游处安装一个管线内混合器。

主权项

1．一种溶解有气体的清洗水用配水管路，该管路通过在气体存在下，将气体溶解于纯水中而进行清洗水的配送，其特征在于，在支管从主管伸出的每个点的刚好上游安装一个管线内混合器。