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发明名称 MODULAR DUMP VALVE ASSEMBLY IN A SEMICONDUCTOR BATH SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0877886(A4) 申请公布日期 2001.08.22
申请号 EP19970905800 申请日期 1997.02.04
申请人 MIRANDA, HENRY R. 发明人 MIRANDA, HENRY R.
分类号 F16K51/00;(IPC1-7):F16K51/00;F16K27/07 主分类号 F16K51/00
代理机构 代理人
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