发明名称 PRODUCTION METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20010080574(A) 申请公布日期 2001.08.22
申请号 KR1020017006553 申请日期 2001.05.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址