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发明名称
METHOD FOR HF-HF CLEANING
摘要
申请公布号
EP1125315(A1)
申请公布日期
2001.08.22
申请号
EP19990945388
申请日期
1999.08.31
申请人
LAM RESEARCH CORPORATION
发明人
SVIRCHEVSKI, JULIA;MIKHAYLICH, KATRINA;ZHANG, JACKIE
分类号
C23F1/08;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
C23F1/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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