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发明名称 Method for fabricating thin film transistor
摘要
申请公布号 EP0645803(B1) 申请公布日期 2001.08.22
申请号 EP19940306942 申请日期 1994.09.22
申请人 SHARP KABUSHIKI KAISHA 发明人 AOMORI, SHIGERU;TARUI, KEIJI;YOSHINOUCHI, ATSUSHI;MORITA, TATSUO
分类号 H01L21/30;H01L21/266;H01L21/223;H01L21/265;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/321;H01J37/32 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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