发明名称 Indexing of a container compartment with the contained disk-like substrate
摘要
申请公布号 EP0766287(B1) 申请公布日期 2001.08.22
申请号 EP19960107816 申请日期 1996.05.15
申请人 JENOPTIK AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SCHLEHAHN, VOLKER;SCHULTZ, KLAUS
分类号 B65G49/07;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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