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发明名称 Method of manufacturing silicon monocrystal, and seed crystal used in the method
摘要
申请公布号 EP0854211(B1) 申请公布日期 2001.08.22
申请号 EP19980300141 申请日期 1998.01.09
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 发明人 ABE, TAKAO;KIMURA, MASANORI
分类号 C30B15/00;C30B15/36;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/36 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
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