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发明名称 AN IN-LINE SPUTTER DEPOSITION SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1125001(A1) 申请公布日期 2001.08.22
申请号 EP19990951707 申请日期 1999.10.01
申请人 APPLIED SCIENCE & TECHNOLOGY, INC. 发明人 FELSENTHAL, DAVID;LEE, CHUNGHSIN;SFERLAZZO, PIERO
分类号 C23C14/56;H01J37/34;H01L21/00;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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