发明名称 可防止半导体制程溶液外漏之洗瓶
摘要 本发明系提供一种可防止半导体制程溶液外漏之洗瓶,该洗瓶包含有一瓶体,用来储存该半导体制程溶液。一密封旋盖,以可旋转之方式固定于该瓶体之瓶口,用以密封该洗瓶,且该密封旋盖底部连接有一输出导管,用来导出该瓶体中之该半导体制程溶液。以及一顶盖,以可旋转之方式固定于该密封旋盖之上。且该顶盖之顶部连接有一溶液导管。其中当该顶盖之该溶液导管对正或部分对正于该密封旋盖底部之输出导管时,储存于该瓶体内之该半导体制程溶液可藉由该输出导管以及该溶液导管而导出于该洗瓶之外。反之,当该顶盖被旋转,使该顶盖之该溶液导管不与该密封旋盖底部之输出导管相接合时,储存于该瓶体之该半导体制程溶液则无法外漏出该洗瓶之外。
申请公布号 TW451282 申请公布日期 2001.08.21
申请号 TW089118210 申请日期 2000.09.06
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 赖圭熙;李锡煌;周文荣;陈美伶
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 许锺迪 台北县永和市福和路三八九号五楼
主权项 1.一种可防止半导体制程溶液外漏的洗瓶,该洗瓶包含有:一瓶体,用来储存该半导体制程溶液;一密封旋盖,以可旋转之方式固定于该瓶体之瓶口,用以密封该洗瓶,且该密封旋盖底部连接有一输出导管,用来导出该瓶体中之该半导体制程溶液;以及一顶盖,以可旋转之方式固定于该密封旋盖之上,且该顶盖之顶部连接有一溶液导管;其中当该顶盖之该溶液导管对正或部分对正于该密封旋盖底部之输出导管时,储存于该瓶体内之该半导体制程溶液可藉由该输出导管以及该溶液导管而导出于该洗瓶之外;而当该顶盖被旋转,使该顶盖之该溶液导管不与该密封旋盖底部之输出导管相结合时,储存于该瓶体之该半导体制程溶液则无法外漏出该洗瓶之外。2.如申请专利范围第1项之洗瓶,其中该顶盖另包含有一旋转轴设于该顶盖底部之中心位置,用来与设于该密封旋盖顶部中心位置上之一旋转轴槽相作用,以旋转该顶盖。3.如申请专利范围第1项之洗瓶,其中该顶盖底部以及该密封旋盖顶部另分别包含有一相对应之固定装置,用以固定该顶盖以及该密封旋盖于一特定之相对应位置,使该顶盖之该溶液导管得以对正于该密封旋盖底部之输出导管。4.一种可防止溶液外漏的洗瓶,该洗瓶包含有:一瓶体,用来储存该溶液;一密封旋盖,以可旋转之方式固定于该瓶体之瓶口,用以密封该洗瓶,且该密封旋盖底部连接有一输出导管,用来导出该瓶体中之该溶液;以及一顶盖,以可旋转之方式固定于该密封旋盖之上,用来密封该密封旋盖的顶部区域,且该顶盖之顶部连接有一溶液导管;其中当该顶盖之该溶液导管对正或部分对正于该密封旋盖底部之输出导管时,储存于该瓶体内之该溶液可藉由该输出导管以及该溶液导管而导出于该洗瓶之外;而当该顶盖被旋转,使该顶盖之该溶液导管不与该密封旋盖底部之输出导管相结合时,储存于该瓶体之该溶液则无法外漏出该洗瓶之外。5.如申请专利范围第4项之洗瓶,其中该顶盖另包含有一旋转轴设于该顶盖底部之中心位置,用来与设于该密封旋盖顶部中心位置上之一旋转轴槽相作用,以使该顶盖得以利用该旋转轴进行旋转。6.如申请专利范围第4项之洗瓶,其中该顶盖底部以及该密封旋盖顶部另分别包含有一相对应之固定装置,用以固定该顶盖以及该密封旋盖于一特定之相对应位置,使该顶盖之该溶液导管得以对正于该密封旋盖底部之输出导管。图式简单说明:第一图为习知储存半导体制程溶液之洗瓶之示意图。第二图为洗瓶倾倒之示意图。第三图为本发明之洗瓶示意图。第四图为瓶体与密封旋盖之透视图。第五图为密封旋盖之上视图。第六图为密封旋盖与顶盖之透视图。第七图为顶盖之上视图。第八图为输出导管与溶液导管对正之示意图。第九图为输出导管与溶液导管完全不对正之示意图。第十图为本发明另一实施例之顶盖与密封旋盖之透视图。第十一图为本发明另一实施例之顶盖与密封旋盖之透视图。
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