| 主权项 |
1.一种金属内连线的制造方法,包括:提供一基底;于该基底上形成一黏着阻障层;在高温高真空下于该阻障层上沈积一铝铜合金层;进行一急速冷却步骤,以急速降低该铝铜合金层的温度;在室温下于该铝铜合金层上形成一抗反射层;以及蚀刻该抗反射层、该铝铜合金层和该黏着阻障层。2.如申请专利范围第1项所述之金属内连线的制造方法,其中该黏着阻障层的材质为氮化钛。3.如申请专利范围第1项所述之金属内连线的制造方法,其中该抗反射层的材质为氮化钛。4.如申请专利范围第1项所述之金属内连线的制造方法,其中该急速冷却步骤包括在高真空下,以一气体吹该基底之背面。5.如申请专利范围第4项所述之金属内连线的制造方法,其中该气体系选自由氩气和氦气所组成的族群。6.如申请专利范围第1项所述之金属内连线的制造方法,其中该急速冷却步骤包括利用一冷却水系统将该基底冷却。7.如申请专利范围第1项所述之金属内连线的制造方法,其中该急速冷却步骤包括以一对流导热方式,将该铝铜合金层冷却。8.如申请专利范围第7项所述之金属内连线的制造方法,其中该对流导热方式,包括以一气体吹该基底,该气体系选自由氩气和氦气所组成的族群。9.一种导线的制造方法,包括:提供一基底;在高温高真空下于该基底上沈积一铝铜合金层;进行一急速冷却步骤;在室温下于该铝铜合金层上形成一抗反射层;以及进行一蚀刻步骤。10.如申请专利范围第9项所述之导线的制造方法,其中该抗反射层的材质为氮化钛。11.如申请专利范围第9项所述之导线的制造方法,其中该急速冷却步骤包括在高真空下,以一气体吹该基底之背面。12.如申请专利范围第9项所述之导线的制造方法,其中该急速冷却步骤包括利用一冷却水系统将该基底冷却。13.如申请专利范围第9项所述之导线的制造方法,其中该急速冷却步骤包括以一对流导热方式,将该铝铜合金层冷却。图式简单说明:第一图系绘示根据本发明一较佳实施例之一种金属内连线的制造流程图。第二图A至第二图B系绘示根据本发明一较佳实施例之一种金属内连线的制造流程剖面图。 |
