| 主权项 |
1.一种超高温热处理装置,特征在于,具备电炉,其含有相互分开独立配设而可更换之复数加热元件构成之加热器,各加热元件配设成不贴附电炉之绝热材内侧壁面。2.如申请专利范围第1项之超高温热处理装置,其中,各个前述加热元件具有沿前述绝热材内侧壁面且不贴附此内侧壁面配设之发热部,以及固定于前述绝热材之安装部。3.一种超高温热处理装置,特征在于具备炉心管,以及设于前述炉心管下方之石英制歧管。4.如申请专利范围第3项之超高温热处理装置,其中,前述炉心管系多孔质SIC/CVD-SIC制。5.如申请专利范围第4项之超高温热处理装置,其中,于与前述炉心管接合之前述石英制歧管上面设有开缝部,又,真空排气系统连接于前述开缝部。6.一种超高温热处理装置,特征在于,具备炉心管以及嵌插于此炉心管内而将导自前述炉心管之热遮断之绝热装置,前述绝热装置含有SIC制缓冲器及设于其下方之石英制缓冲器。7.如申请专利范围第6项之超高温热处理装置,其中,前述炉心管系多孔质SIC/CVD-SIC制。8.一种超高温热处理装置,特征在于,具备炉心管,以及设于此炉心管下方以防止前述炉心管内污染之污染防治装置,前述污染防治装置含有石英制歧管及设于其下方之石英制凸缘,前述石英制歧管与前述石英制凸缘形成具有倾针周面之环状,同时接合于各个倾斜周面,O形环嵌插于形成在前述石英制歧管及前述石英制凸缘之一前述倾斜周面之凹部内。9.如申请专利范围第8项之超高温热处理装置,其中,前述炉心管系多孔质SIC/CVD-SIC制。10.一种超高温热处理装置,特征在于,具备使炉心管内热处理之热处理对象自具有较热处理对象之外径大之外径且支持热处理对象之环状支持器分离之分离机构,前述分离机构含有支持前述环状支持器之外周缘部之支持部,以及匹配前述分离机构之中心轴线而配设,高度较前述支持部大,且具有较前述环状支持器内径小之外径之载台。11.如申请专利范围第10项之超高温热处理装置,其中,前述炉心管系多孔质SIC/CVD-SIC制,前述热处理对象为晶圆。12.一种超高温热处理装置,特征在于,具备:电炉,含有相互分开独立配设而可更换之复数加热元件构成之加热器;多孔质SIC/CVD-SIC制炉心管;嵌插于前述炉心管内,将导自前述炉心管之热遮断之绝热装置;设于前述炉心管下方,防止前述炉心管内部污染之污染防治装置;以及分离机构,使前述炉心管内热处理之热处理对象自具有较前述热处理对象之外径大之外径且支持前述热处理对象之环状支持器分离;各个前述加热元件具有沿前述绝热材之内侧壁面惟不贴附此内侧壁面配设之发热部,以及固定于前述绝热材之安装部;前述绝热装置含有SIC制缓冲器及设于其下方之石英制缓冲器;前述污染防治装置含有设于前述炉心管下方之石英制歧管及设于其下方之石英制凸缘,前述石英制歧管及前述石英制凸缘形成具有倾斜周面之环状,同时于各个倾斜周面接合,O形环嵌插于形成在前述石英制歧管及前述石英制凸缘之一前述倾斜周面之凹部;开缝部设于与前述炉心管接合之前述石英制歧管上面,又,真空排气系统连接于前述开缝部;前述分离机构含有支持前述环状支持器之外周缘部之支持部,以及匹配前述分离机构之中心轴线配设,高度较前述支持部大,且具有较前述环状支持器之内径小之外径之载台。图式简单说明:第一图系显示本发明一实施例之超高温热处理装置之正视图。第二图系第一图所示热处理装置之后视图。第三图系热处理装置之要部之部份切除放大正视图。第四图显示热处理装置之电炉之加热元件,第四图A及第四图B系此加热元件之部份切除正视图及右侧视图。第五图系第一图所示热处理装置之概略图。第六图系热处理装置之要部之部份切除放大纵剖视图。第七图系热处理装置之石英制歧管之斜视图。第八图系热处理装置中使被热处理对象之晶圆自支持器分离之分离机构之纵剖面正视图。第九图系第八图所示分离机构之右侧视图。第十图系分离机构之平面图。 |
