一种激光测量装置

摘要

本实用新型涉及一种监控和测量激光焦斑形状、尺寸及光强分布的装置。本实用新型由激光器、样品室、聚焦光学元件、靶物质、定位系统、衰减片、物镜、滤光片、CCD成相系统及计算机等构成。通过CCD成相系统将激光焦点放大成象来实时显示焦斑形状、尺寸和光强分布,并由计算机实时监测焦斑尺寸。该装置操作简便,测量动态范围宽,快速,直观。

主权项

1．一种激光测量装置，其特征在于：由激光器、扩束镜、转向反射镜组、光阑、真空靶室、聚焦透镜、固体靶、靶定位系统、分束镜、衰减片、物镜、滤光片、CCD照相机及计算机构成；由激光器输出光束经扩束器扩束，经转向反射镜组转向、经光阑定位光束方向，光束通过真空窗口进入真空靶室，聚焦光学元件将光束聚焦到固体靶上，靶定位系统调整靶与聚焦透镜间的距离，从焦点发出的散射光通过真空窗口、分束镜、衰减片到达物镜，它将焦点放大成象在CCD照相机上，并在显示屏上实时显示焦斑形状和光强分布，计算机对该图象进行数据采集和处理，定量给出焦斑尺寸和光强分布。