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发明名称 Semiconductor ingot machining method
摘要
申请公布号 EP0610563(B1) 申请公布日期 2001.08.16
申请号 EP19930119155 申请日期 1993.11.27
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 发明人 HIRANO, YOSHIHIRO;OZAKI,ATSUSHI
分类号 B28D5/00;B24B1/00;B23D5/00;B28D1/22;B28D5/02;C30B33/00;G01N23/207;H01L21/304;(IPC1-7):B28D5/00;B24B7/22;G01N1/06 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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