METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING HEIGHT IMAGES OF TECHNICAL SURFACES WITH MICROSCOPIC RESOLUTION

摘要

Bei einem Verfahren zur Herstellung von Höhenbildern technischer Oberflächen in mikroskopischer Auflösung mit Hilfe eines konfokalen Messmikroskops, wobei die zu vermessende Probe in Richtung (Z-Richtung) Mikroskop gesteuert verfahren und dabei in definierten Abständen mittels einer Digitalkamera aufgenommen wird, und die aufgenommenen digitalisierten Bilder einem Controller (PC) zur weiteren Verarbeitung und Auswertung zugeleitet werden, derart, dass das Lichtintensitätsmaximum für jeden Bildpunkt ermittelt wird, wobei die Lage des Maximums die zu messende Probenhöhe ergibt, ist erfindungsgemäss vorgesehen, dass die Verfahrbewegung der Probe kontinuierlich erfolgt und beim Verfahren die Bildaufnahmen in diskreten Ortsabständen ausgelöst werden, die Intensitäten der so aufgenommenen und digitalisierten N Einzelbilder im PC gespeichert werden, derart, dass für jeden Bildpunkt eine Zahl N aufeinanderfolgender Speicherstellen belegt wird, die vom ersten bis zum N-ten Bild sukzessive aufgefüllt werden, wonach für jeden Bildpunkt das jeweilige Intensitätsmaximum/die jeweiligen Intensitätsmaxima rechnerisch ermittelt und unter Einbeziehung aller Messdaten ausgewertet wird/werden.