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经营范围
发明名称
LAYER PROCESSING
摘要
申请公布号
EP1123562(A1)
申请公布日期
2001.08.16
申请号
EP19990946329
申请日期
1999.09.13
申请人
THE SECRETARY OF STATE FOR DEFENCE
发明人
MARRS, ALAN, DOUGLAS;DANN, ALLISTER, WILLIAM, ELON;GLASPER, JOHN, LEWIS;PICKERING, CHRISTOPHER;ROBBINS, DAVID, JOHN;RUSSELL, JOHN
分类号
G01B11/06;C30B25/16;G01N21/21;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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