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发明名称 Vorrichtung zum Lösen eines Trägers von einer Halbleiterscheibe
摘要
申请公布号 DE20109403(U1) 申请公布日期 2001.08.16
申请号 DE20012009403U 申请日期 2001.06.07
申请人 THALLNER, ERICH 发明人
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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