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发明名称 Verfahren zur Züchtung von grossen Einkristallen
摘要
申请公布号 DE69613767(D1) 申请公布日期 2001.08.16
申请号 DE19966013767 申请日期 1996.05.28
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 VICHR, MIROSLAV;HOOVER, DAVID SAMUEL
分类号 C30B25/02;C30B25/04;C30B25/18;C30B25/20;C30B29/04;C30B33/08;H01L21/205;H01L21/314;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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